分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。 这种泵具体可分为：
牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。
涡轮分子泵靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
真空系统包括机械泵、低温泵、粗抽阀、前级阀、闸板阀、以及检测真空度的真空计。
相比较原来常用的机械油泵，可以杜绝油泵中的油气进入真空室，超高真空电子束蒸发，污染基片，降低薄膜与基片的附着力。通常在干泵抽到6.5Pa以下后，再打开闸板阀，用低温泵抽高真空，低温泵的特点是抽速大，尤其是除水蒸汽的能力非常强。
溅射镀膜系统由直流电源、靶材、冷却水、永磁铁、基片加热装置、挡板、屏蔽层等组成。这是磁控溅射台的核心部分。
基片加热装置能除掉基片上的水蒸气等杂质，可以提高薄膜与基片的附着力，另外对于某些金属，真空设备，合适的温度能提高薄膜的质量。
沈阳诺思真空技术有限公司（原沈阳天成真空技术有限责任公司）成立于2012年，是以超高真空技术为基础、从事各种真空应用设备研发、生产和销售为一体的技术型企业。
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生产现场管理的优化是真空设备制造企业当前面临的一个重要问题。在实现优化生产现场管理的基础上，企业可以提高劳动生产率，降低生产成本，提升产品质量，Zui终实现更高的经济效益与社会效益。
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